Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439
Title: Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч
Authors: Савицкий, Александр Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 30-Jun-2021
Abstract: Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Prog_Savitski_21.PDF801,62 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.