Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/25863| Title: | Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения |
| Authors: | Челядинский, А. Р. Вавилов, В. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Mar-1995 |
| Citation: | УФН. – 1995. – Т. 165, № 2. – С. 347-358. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/25863 |
| Appears in Collections: | Архив статей |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| DEF_Имплантация ионов в Si дефекты_Челядинск.pdf | 352,74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.