Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/257356| Title: | Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках |
| Other Titles: | Study of surface nanostructure of thin films of Al‒Mn and Al‒Ni alloys on glass substrates / I. I. Tashlykova-Bushkevich, A. S. Izmailovich, I. А. Stoliar, V. A. Denisov, A. V. Derkach |
| Authors: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Измайлович, А. С. Столяр, И. А. Денисов, В. А. Деркач, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 398-401. |
| Abstract: | Методами сканирующей зондовой микроскопии и растровой электронной микроскопии исследована наноструктура поверхности пленок сплавов Al‒2,1 ат. % Mn и Al‒1,4 ат. % Ni, сформированных осаждением покрытия на стеклянную подложку при ассистировании собственными ионами. Установлено, что при легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок снижается. Обнаружено, что параметры шероховатости пленок коррелируют с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции |
| Abstract (in another language): | Surface nanostructure of films of Al‒2.1 at.% Mn and Al‒1.4 at.% Ni alloys has been investigated by means of scanning probe microscopy and scanning electron microscopy. It is obtained that alloying of aluminum results in the reduction of the level of surface morphological heterogeneity of films. Roughness parameters of films are correlated with size and density of microparticles of droplet fraction |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/257356 |
| ISBN: | 978-985-881-073-3 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при финансовой поддержке программы ГПНИ «Физическое материаловедение, новые материалы и технологии» (2016–2020 гг., подпрограмма «Материаловедение и технологии материалов», задание 1.40, № ГР 20161123) |
| Appears in Collections: | 2020. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 398-401.pdf | 423,58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.