Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/257356| Заглавие документа: | Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках |
| Другое заглавие: | Study of surface nanostructure of thin films of Al‒Mn and Al‒Ni alloys on glass substrates / I. I. Tashlykova-Bushkevich, A. S. Izmailovich, I. А. Stoliar, V. A. Denisov, A. V. Derkach |
| Авторы: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Измайлович, А. С. Столяр, И. А. Денисов, В. А. Деркач, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 398-401. |
| Аннотация: | Методами сканирующей зондовой микроскопии и растровой электронной микроскопии исследована наноструктура поверхности пленок сплавов Al‒2,1 ат. % Mn и Al‒1,4 ат. % Ni, сформированных осаждением покрытия на стеклянную подложку при ассистировании собственными ионами. Установлено, что при легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок снижается. Обнаружено, что параметры шероховатости пленок коррелируют с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции |
| Аннотация (на другом языке): | Surface nanostructure of films of Al‒2.1 at.% Mn and Al‒1.4 at.% Ni alloys has been investigated by means of scanning probe microscopy and scanning electron microscopy. It is obtained that alloying of aluminum results in the reduction of the level of surface morphological heterogeneity of films. Roughness parameters of films are correlated with size and density of microparticles of droplet fraction |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/257356 |
| ISBN: | 978-985-881-073-3 |
| Финансовая поддержка: | Работа выполнена при финансовой поддержке программы ГПНИ «Физическое материаловедение, новые материалы и технологии» (2016–2020 гг., подпрограмма «Материаловедение и технологии материалов», задание 1.40, № ГР 20161123) |
| Располагается в коллекциях: | 2020. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 398-401.pdf | 423,58 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.