Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/257356
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыкова-Бушкевич, И. И.
dc.contributor.authorИзмайлович, А. С.
dc.contributor.authorСтоляр, И. А.
dc.contributor.authorДенисов, В. А.
dc.contributor.authorДеркач, А. В.
dc.date.accessioned2021-03-24T12:26:26Z-
dc.date.available2021-03-24T12:26:26Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 398-401.
dc.identifier.isbn978-985-881-073-3
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/257356-
dc.descriptionНанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
dc.description.abstractМетодами сканирующей зондовой микроскопии и растровой электронной микроскопии исследована наноструктура поверхности пленок сплавов Al‒2,1 ат. % Mn и Al‒1,4 ат. % Ni, сформированных осаждением покрытия на стеклянную подложку при ассистировании собственными ионами. Установлено, что при легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок снижается. Обнаружено, что параметры шероховатости пленок коррелируют с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при финансовой поддержке программы ГПНИ «Физическое материаловедение, новые материалы и технологии» (2016–2020 гг., подпрограмма «Материаловедение и технологии материалов», задание 1.40, № ГР 20161123)
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleИсследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках
dc.title.alternativeStudy of surface nanostructure of thin films of Al‒Mn and Al‒Ni alloys on glass substrates / I. I. Tashlykova-Bushkevich, A. S. Izmailovich, I. А. Stoliar, V. A. Denisov, A. V. Derkach
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeSurface nanostructure of films of Al‒2.1 at.% Mn and Al‒1.4 at.% Ni alloys has been investigated by means of scanning probe microscopy and scanning electron microscopy. It is obtained that alloying of aluminum results in the reduction of the level of surface morphological heterogeneity of films. Roughness parameters of films are correlated with size and density of microparticles of droplet fraction
Располагается в коллекциях:2020. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
398-401.pdf423,58 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.