Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/257267
Заглавие документа: | Исследование влияния приповерхностного дефектного слоя сапфировых подложек на устройства микроэлектроники |
Другое заглавие: | Study of sapphire substrate devective layer influence on microelectronic devices / Yu. V. Klunnikova, S. P. Malyukov, A. V. Filimonov |
Авторы: | Клунникова, Ю. В. Малюков, С. П. Филимонов, А. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2020 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 55-59. |
Аннотация: | Изменения структуры и свойств поверхностных слоев сапфировых подложек оказывают существенное влияние на эксплуатацию микроэлектронных устройств на их основе. Проведено исследование появления приповерхностных дефектов в сапфировых подложках, которое явилось основой для оптимизации процессов обработки кристаллов сапфира, а также для формирования рекомендаций по определению свойств приповерхностных слоев сапфира, усовершенствованию качества кристалла |
Аннотация (на другом языке): | The changes in the structure and properties of the sapphire substrates surface layers have a significant effect on the microelectronic devices. The study of the surface defects in sapphire substrates was carried out. This study is the basis for the sapphire crystals processing optimization and the recommendations formation for sapphire surface layer properties definition and improvement of crystal quality |
Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/257267 |
ISBN: | 978-985-881-073-3 |
Располагается в коллекциях: | 2020. Материалы и структуры современной электроники |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.