Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон

Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Харченко, А. А.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/236648

Title:	Модификация поверхности пленок полиэтилентерефталата при имплантации высокоэнергетичными ионами инертных газов с удельной энергией 1 МэВ/нуклон
Authors:	Бринкевич, Д. И. Лукашевич, М. Г. Просолович, В. С. Харченко, А. А. Янковский, Ю. Н. Черный, В. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2017
Publisher:	Белорусский национальный технический университет
Citation:	Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 140-141.
Abstract:	Целью настоящей работы являлось исследование влияния высокоэнергетичной имплантации инертных газов (Xe, Ar) на рельеф поверхности пленок полиэтилентерефталата.
URI:	http://rep.bntu.by/handle/data/37246 http://elib.bsu.by/handle/123456789/236648
ISBN:	978-985-583-136-6
Appears in Collections:	Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Show full item record Google Scholar