Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226446
Заглавие документа: | Разрешимость задачи об автолегировании кремния примесью скрытого слоя |
Авторы: | Корзюк, В. И. Чеб, Е. С. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Математика |
Дата публикации: | 1998 |
Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1998. – № 3. – С. 23-30. |
Аннотация: | This work is examined the mathematical model of description of profile and concentration of incorporated impurity during the process of high-temperature annealing with epitaxial growth ill the one-dimensional geometry. For corresponding mathematical problem it is proved energetic inequalities and its solvability in case of Pick’s linear equation using averaging operators with variable step. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226446 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 1998, №3 (сентябрь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.