Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226446| Заглавие документа: | Разрешимость задачи об автолегировании кремния примесью скрытого слоя |
| Авторы: | Корзюк, В. И. Чеб, Е. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Математика |
| Дата публикации: | 1998 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1998. – № 3. – С. 23-30. |
| Аннотация: | This work is examined the mathematical model of description of profile and concentration of incorporated impurity during the process of high-temperature annealing with epitaxial growth ill the one-dimensional geometry. For corresponding mathematical problem it is proved energetic inequalities and its solvability in case of Pick’s linear equation using averaging operators with variable step. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226446 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1998, №3 (сентябрь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.