Наноструктурированные пленки металл-углерод на кремнии, сформированные торцевым эрозионным устройством

Пунько, А. В.; Углов, В. В.; Квасов, Н. Т.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223641

Title:	Наноструктурированные пленки металл-углерод на кремнии, сформированные торцевым эрозионным устройством
Authors:	Пунько, А. В. Углов, В. В. Квасов, Н. Т.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2008
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 267-270
Abstract:	Уединенные проводящие образования на непроводящей поверхности представляют собой планарную матрицу емкостей, которая, в свою очередь, может использоваться в качестве детектора излучения определенных длин волн или элемента памяти. Целью данной работы являлось исследование возможности получения наноструктурированных пленок металлов и углерода на поверхности кремния эрозионными методами, а также изучение их морфологии и электрических свойств.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/223641
ISBN:	978-985-518-091-4
Appears in Collections:	2008. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
267-270.pdf		666,16 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar