Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223641
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пунько, А. В. | - |
dc.contributor.author | Углов, В. В. | - |
dc.contributor.author | Квасов, Н. Т. | - |
dc.date.accessioned | 2019-07-12T06:24:51Z | - |
dc.date.available | 2019-07-12T06:24:51Z | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 267-270 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-518-091-4 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223641 | - |
dc.description.abstract | Уединенные проводящие образования на непроводящей поверхности представляют собой планарную матрицу емкостей, которая, в свою очередь, может использоваться в качестве детектора излучения определенных длин волн или элемента памяти. Целью данной работы являлось исследование возможности получения наноструктурированных пленок металлов и углерода на поверхности кремния эрозионными методами, а также изучение их морфологии и электрических свойств. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Наноструктурированные пленки металл-углерод на кремнии, сформированные торцевым эрозионным устройством | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
267-270.pdf | 666,16 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.