Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223641| Заглавие документа: | Наноструктурированные пленки металл-углерод на кремнии, сформированные торцевым эрозионным устройством |
| Авторы: | Пунько, А. В. Углов, В. В. Квасов, Н. Т. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 267-270 |
| Аннотация: | Уединенные проводящие образования на непроводящей поверхности представляют собой планарную матрицу емкостей, которая, в свою очередь, может использоваться в качестве детектора излучения определенных длин волн или элемента памяти. Целью данной работы являлось исследование возможности получения наноструктурированных пленок металлов и углерода на поверхности кремния эрозионными методами, а также изучение их морфологии и электрических свойств. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223641 |
| ISBN: | 978-985-518-091-4 |
| Располагается в коллекциях: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 267-270.pdf | 666,16 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.