Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/165120
Заглавие документа: | Парамагнетизм модифицированных ионным облучением структур фоторезист-кремний |
Авторы: | Оджаев, В. Б. Карпович, В. А. Просолович, В. С. Лапчук, Н. М. Олешкевич, А. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2016 |
Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 189–192. |
Аннотация: | В денной работе исследовалось бесконтактным методом ЭПР изменение сопротивления образцов фоторезистивных нанокомпозитов в зависимости от дозы имплантации ионов фосфора и бора. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/165120 |
ISBN: | 978-985-553-403-8 |
Финансовая поддержка: | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. |
Располагается в коллекциях: | 2016. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
С.189-192_Оджаев.pdf | 468,06 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.