Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/165120
Заглавие документа: Парамагнетизм модифицированных ионным облучением структур фоторезист-кремний
Авторы: Оджаев, В. Б.
Карпович, В. А.
Просолович, В. С.
Лапчук, Н. М.
Олешкевич, А. Н.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2016
Издатель: Минск : Изд. центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 189–192.
Аннотация: В денной работе исследовалось бесконтактным методом ЭПР изменение сопротивления образцов фоторезистивных нанокомпозитов в зависимости от дозы имплантации ионов фосфора и бора.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/165120
ISBN: 978-985-553-403-8
Финансовая поддержка: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Располагается в коллекциях:2016. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
С.189-192_Оджаев.pdf468,06 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.