Диффузионные характеристики кислородных димеров и комплексов вакансия – два атома кислорода в кремнии: данные ИК поглощения

Мурин, Л. И.; Толкачева, Е. А.; Маркевич, В. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/164194

Title:	Диффузионные характеристики кислородных димеров и комплексов вакансия – два атома кислорода в кремнии: данные ИК поглощения
Authors:	Мурин, Л. И. Толкачева, Е. А. Маркевич, В. П.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2016
Publisher:	Минск : Изд. центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 171–174.
Abstract:	Методом ИК поглощения исследована кинетика отжига (трансформации) кислородных димеров (O2i) и комплексов вакансия – кислородный димер (VO2) в кристаллах кремния, обогащенных данными центрами путем предварительного облучения быстрыми электронами при повышенных температурах (300–400 ºС). На основе анализа экспериментальных данных определены коэффициенты диффузии O2i и VO2 и показано, что миграционная способность данных комплексов в области температур 300–500 ºС значительно превосходит таковую для междоузельных атомов кислорода.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/164194
ISBN:	978-985-553-403-8
Sponsorship:	Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований (грант Ф16М-047).
Appears in Collections:	2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
С.171-174_Мурин.pdf		522,86 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar