Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/164194Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Мурин, Л. И. | - |
| dc.contributor.author | Толкачева, Е. А. | - |
| dc.contributor.author | Маркевич, В. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-12-29T16:08:20Z | - |
| dc.date.available | 2016-12-29T16:08:20Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 171–174. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-553-403-8 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/164194 | - |
| dc.description.abstract | Методом ИК поглощения исследована кинетика отжига (трансформации) кислородных димеров (O2i) и комплексов вакансия – кислородный димер (VO2) в кристаллах кремния, обогащенных данными центрами путем предварительного облучения быстрыми электронами при повышенных температурах (300–400 ºС). На основе анализа экспериментальных данных определены коэффициенты диффузии O2i и VO2 и показано, что миграционная способность данных комплексов в области температур 300–500 ºС значительно превосходит таковую для междоузельных атомов кислорода. | ru |
| dc.description.sponsorship | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований (грант Ф16М-047). | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Диффузионные характеристики кислородных димеров и комплексов вакансия – два атома кислорода в кремнии: данные ИК поглощения | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2016. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| С.171-174_Мурин.pdf | 522,86 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.