Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2019 | Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнии | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Гринюк, Е. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2019 | Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнии | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Гринюк, Е. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2010 | СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНОЙ И ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИЕЙ | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А. |
| 1987 | Термические дефекты в кремнии, легированном германием | Бринкевич, Д. И.; Горбачева, Н. И.; Петров, В. В.; Просолович, В. С.; Туровский, Б. М. |
| 2018 | Трансформация спектров отражения диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмы | Харченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.; Янковский, Ю. Н. |
| 2012 | УПРОЧНЕНИЕ КРЕМНИЯ ВБЛИЗИ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА SIO2/SI | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Простомолотов, А. И. |
| 2010 | ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННОГО Si:Ge | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Петров, В. В.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А. |
| мая-2023 | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Ластовский, С. Б.; Точилин, Е. В. |
| 2010 | Физико-механические свойства пленок полиэтилентерефталата и полиимида, имплантированных ионами Ag+ | Вабищевич, С. А.; Волобуев, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Нажим, Ф. А. |
| янв-2010 | Формирование примесно-дефектных комплексов в кремнии, выращенном при наложении на расплав магнитных полей | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С. |
| 2008 | Формирование сильнолегированных «карманов» КМОП-структур высокоэнергетичной ионной имплантацией | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, О. Н.; Янковский, Ю. Н. |
| 2020 | Электронная проводимость в имплантированном ионами Р+ позитивном фоторезисте | Олешкевич, А. Н.; Лапчук, Н. М.; Оджаев, В. Б.; Карпович, И. А.; Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д. |
| 2020 | ЭПР спектроскопия имплантированных ионами Р+ и B+ пленок диазохинон-новолачного фоторезиста | Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Олешкевич, А. Н.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б. |