Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2017 | Влияние ионной имплантации на адгезию пленок позитивного диазохинонноволачного фоторезиста к монокристаллическому кремнию | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Степнов, А. К.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И. |
| 2012 | ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕСЕЙ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ n-МОП ТРАНЗИСТОРА | Карпович, И. А.; Оджаев, В. Б.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Турцевич, А. С.; Шведов, В. С.; Явид, В. Ю.; Янковский, Ю. Н. |
| 2003 | Дефектообразование при совместной имплантации кремния лантаноидами и легирующими примесями | Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Исследование влияния технологических примесей на величину прямого тока потенциальных барьеров биполярного n–p–n-транзистора | Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Шведов, С. В.; Филипеня, В. А.; Явид, В. Ю.; Янковский, Ю. Н.; Лановский, Р. А. |
| 2010 | ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В ПЛАСТИНАХ БЕЗДИСЛОКАЦИОННОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ПОДВЕРГНУТЫХ БЫСТРОМУ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМУ ОТЖИГУ | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Васильев, Ю. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Простомолотов, А. И.; Верезуб, Н. А.; Меженный, М. В.; Резник, В. Я. |
| 2014 | Исследование прочностных свойств монокристаллов и пластин полупроводников, обусловленных напряженно-деформированным и дефектно-примесным состоянием кристаллической решетки : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. С. Просолович | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, Д. И.; Петров, В. В. |
| 2010 | Исследование структурных, механических и магнитных свойств неупорядоченных систем на основе монокристаллического кремния, легированного нетрадиционными примесями : отчет о НИР (заключительный) / БГУ; науч. рук. В. С. Просолович | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Петров, В. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2012 | МИКРОТВЕРДОСТЬ МОНОКРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ | Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2014 | Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации | Бринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2013 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н. |
| 2014 | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2016 | О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2011 | ОСОБЕННОСТИ ДИФФУЗИИ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ ОТЖИГЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н. |
| 2003 | Отжиг радиационных дефектов в имплантированном ионами Yb+ кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Самохвал, В. В.; Янковский, Ю. Н. |
| 2019 | Природа стабильных парамагнитных центров в имплантированных ионами Р+ и В+ пленках позитивного фоторезиста ФП9120 | Бринкевич, Д. И.; Лапчук, Н. М.; Оджаев, В. Б.; Олешкевич, А. Н.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Черный, В. В. |
| 2010 | Разработать физико-технологические основы формирования легированных областей для субмикронных полупроводниковых приборов с использованием высокоэнергетической ионной имплантации и дополнительного введения нетрадиционных примесей в процессе эпитаксиального наращивания : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. В. С. Просолович | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Петров, В. В.; Бринкевич, Д. И. |
| 2015 | Разработка физико-технологических методов формирования и контроля электрофизических, оптических, механических и структурных характеристик функциональных наноструктур на основе кремния и его оксидов : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель В. С. Просолович | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, Д. И.; Петров, В. В. |
| 2014 | Разработка физико-технологических методов формирования функциональных наноструктурированных материалов и нанокомпозитов на основе полупроводниковых монокристаллов и силикатных структур с прецизионно управляемыми оптическими, физико-механическими и электрофизическими свойствами : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель В. С. Просолович | Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Бринкевич, Д. И.; Петров, В. В. |
| 2014 | Разработка физико-технологических методов создания бездислокационных легированных слоев кремния и моделирование переходных процессов на границах раздела структур субмикронных интегральных микросхем : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель В. Б. Оджаев | Оджаев, В. Б.; Челядинский, А. Р.; Петров, В. В.; Азарко, И. И.; Просолович, В. С.; Горбачук, Н. И.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Шпаковский, С. В.; Филипеня, В. А.; Поклонская, О. Н.; Сидоренко, Ю. В.; Садовский, П. К. |