Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49067
Заглавие документа: | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния |
Авторы: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Янковский, Ю. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2013 |
Аннотация: | Исследовано изменение прочностных характеристик пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора с проецированным пробегом 1 мкм. Аморфизация имплантированной области кремния (Ф ≥ 3·1014 см-2 для ионов P+) приводит к снижению микротвердости вблизи поверхности. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к рез- кому снижению микротвердости в приповерхностной области монокристалла. Полученные экспериментальные резуль- таты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого термического отжига. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49067 |
Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Просолович.pdf | 234,58 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.