Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/9655| Заглавие документа: | Применение многоканального спектрометра Sl-40 для контроля и управления процессом магнетронного нанесения TiO2 |
| Авторы: | Прокопьев, С. Л. Кулешов, В. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | БГУ |
| Аннотация: | Магнетронные технологии нашли широкое применение для модификации свойств поверхностей твердых тел, в частности, для нанесения пленочных покрытий различного назначения. Однако без систем динамического управления ходом магнетронного нанесения пленок не удается достичь воспроизводимости свойств покрытий и высоких скоростей нанесения. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/9655 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.