Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/9655Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Прокопьев, С. Л. | - |
| dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-05-22T11:05:43Z | - |
| dc.date.available | 2012-05-22T11:05:43Z | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/9655 | - |
| dc.description.abstract | Магнетронные технологии нашли широкое применение для модификации свойств поверхностей твердых тел, в частности, для нанесения пленочных покрытий различного назначения. Однако без систем динамического управления ходом магнетронного нанесения пленок не удается достичь воспроизводимости свойств покрытий и высоких скоростей нанесения. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Применение многоканального спектрометра Sl-40 для контроля и управления процессом магнетронного нанесения TiO2 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи | |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.