Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/9655| Title: | Применение многоканального спектрометра Sl-40 для контроля и управления процессом магнетронного нанесения TiO2 |
| Authors: | Прокопьев, С. Л. Кулешов, В. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | БГУ |
| Abstract: | Магнетронные технологии нашли широкое применение для модификации свойств поверхностей твердых тел, в частности, для нанесения пленочных покрытий различного назначения. Однако без систем динамического управления ходом магнетронного нанесения пленок не удается достичь воспроизводимости свойств покрытий и высоких скоростей нанесения. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/9655 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.