Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7522
Title: | Физические основы ионно-фотонно-плазменной технологии : конспект лекций / Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий |
Authors: | Никифоренко, Н. Н. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 27-Apr-2012 |
Abstract: | Целью изучения дисциплины является ознакомление студентов с основными физическими процессами, происходящими при взаимодействии интенсивных потоков ионов, атомов, фотонов и плазмы с поверхностью твердых тел. Рассматриваются также наиболее перспективные, наукоемкие вакуумно-плазменные технологии нанесения и травления тонкопленочных покрытий различного назначения, включая методы оперативного контроля технологических процессов. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7522 |
Appears in Collections: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (пособия) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
1_ВЧ_разряд.doc | Лекция №1 | 766 kB | Microsoft Word | View/Open |
2_Элем_проц.doc | Лекция №2 | 85 kB | Microsoft Word | View/Open |
3_Фотолитография.doc | Лекция №3 | 4,2 MB | Microsoft Word | View/Open |
4_Имплантация.doc | Лекция №4 | 588 kB | Microsoft Word | View/Open |
5_Травление.doc | Лекция №5 | 153 kB | Microsoft Word | View/Open |
6_Физика_формирования_пленок.doc | Лекция №6 | 258 kB | Microsoft Word | View/Open |
7_Нанесение.doc | Лекция №7 | 349,5 kB | Microsoft Word | View/Open |
7_спектрофотом_ТП.doc | Лекция №8 | 266,5 kB | Microsoft Word | View/Open |
Метод_рекомендации_ФОИФПТ.doc | Пояснительная записка | 27 kB | Microsoft Word | View/Open |
ФОИФПТ_конспект_лекций.doc | Физические основы ионно-фотонно-плазменной технологии в радиоэлектронике : конспект лекций | 1,06 MB | Microsoft Word | View/Open |
ФОИФПТ_раб.пр._2010.doc | Учебная программа | 130 kB | Microsoft Word | View/Open |
ФОИФПТ_уч_прог_2010.doc | Учебная программа | 69,5 kB | Microsoft Word | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.