Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Факультет радиофизики и компьютерных технологий
  3. УЧЕБНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ФАКУЛЬТЕТА РАДИОФИЗИКИ И КОМПЬЮТЕРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
  4. Учебники и другие пособия факультета радиофизики и компьютерных технологий
  5. Кафедра физической электроники и нанотехнологий (пособия)
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7522
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНикифоренко, Н. Н.-
dc.date.accessioned2012-04-27T06:37:17Z-
dc.date.available2012-04-27T06:37:17Z-
dc.date.issued2012-04-27-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/7522-
dc.description.abstractЦелью изучения дисциплины является ознакомление студентов с основными физическими процессами, происходящими при взаимодействии интенсивных потоков ионов, атомов, фотонов и плазмы с поверхностью твердых тел. Рассматриваются также наиболее перспективные, наукоемкие вакуумно-плазменные технологии нанесения и травления тонкопленочных покрытий различного назначения, включая методы оперативного контроля технологических процессов.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleФизические основы ионно-фотонно-плазменной технологии : конспект лекций / Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологийru
dc.typelecture-
Располагается в коллекциях:Кафедра физической электроники и нанотехнологий (пособия)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
1_ВЧ_разряд.docЛекция №1766 kBMicrosoft WordОткрыть
2_Элем_проц.docЛекция №285 kBMicrosoft WordОткрыть
3_Фотолитография.docЛекция №34,2 MBMicrosoft WordОткрыть
4_Имплантация.docЛекция №4588 kBMicrosoft WordОткрыть
5_Травление.docЛекция №5153 kBMicrosoft WordОткрыть
6_Физика_формирования_пленок.docЛекция №6258 kBMicrosoft WordОткрыть
7_Нанесение.docЛекция №7349,5 kBMicrosoft WordОткрыть
7_спектрофотом_ТП.docЛекция №8266,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Метод_рекомендации_ФОИФПТ.docПояснительная записка27 kBMicrosoft WordОткрыть
ФОИФПТ_конспект_лекций.docФизические основы ионно-фотонно-плазменной технологии в радиоэлектронике : конспект лекций1,06 MBMicrosoft WordОткрыть
ФОИФПТ_раб.пр._2010.docУчебная программа130 kBMicrosoft WordОткрыть
ФОИФПТ_уч_прог_2010.docУчебная программа69,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.