Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7522
Title: Физические основы ионно-фотонно-плазменной технологии : конспект лекций / Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий
Authors: Никифоренко, Н. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 27-Apr-2012
Abstract: Целью изучения дисциплины является ознакомление студентов с основными физическими процессами, происходящими при взаимодействии интенсивных потоков ионов, атомов, фотонов и плазмы с поверхностью твердых тел. Рассматриваются также наиболее перспективные, наукоемкие вакуумно-плазменные технологии нанесения и травления тонкопленочных покрытий различного назначения, включая методы оперативного контроля технологических процессов.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/7522
Appears in Collections:Учебно-методические комплексы факультета радиофизики и компьютерных технологий

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1_ВЧ_разряд.docЛекция №1766 kBMicrosoft WordView/Open
2_Элем_проц.docЛекция №285 kBMicrosoft WordView/Open
3_Фотолитография.docЛекция №34,2 MBMicrosoft WordView/Open
4_Имплантация.docЛекция №4588 kBMicrosoft WordView/Open
5_Травление.docЛекция №5153 kBMicrosoft WordView/Open
6_Физика_формирования_пленок.docЛекция №6258 kBMicrosoft WordView/Open
7_Нанесение.docЛекция №7349,5 kBMicrosoft WordView/Open
7_спектрофотом_ТП.docЛекция №8266,5 kBMicrosoft WordView/Open
Метод_рекомендации_ФОИФПТ.docПояснительная записка27 kBMicrosoft WordView/Open
ФОИФПТ_конспект_лекций.docФизические основы ионно-фотонно-плазменной технологии в радиоэлектронике : конспект лекций1,06 MBMicrosoft WordView/Open
ФОИФПТ_раб.пр._2010.docУчебная программа130 kBMicrosoft WordView/Open
ФОИФПТ_уч_прог_2010.docУчебная программа69,5 kBMicrosoft WordView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.