Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7433| Заглавие документа: | Разработать физические основы технологии создания бездефектных ионно-легированных структур кремния с целью улучшения параметров полупроводниковых приборов и интегральных схем на их основе и повышении выхода годных изделий микроэлектроники : отчет о НИР (заключительный) / БГУ; науч. рук. А. Р. Челядинский |
| Авторы: | Челядинский, А. Р. Явид, В. Ю. Васильева, Л. А. Садовский, П. К. Васильев, Ю. Б. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2010 |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7433 |
| Регистрационный номер: | 20062732 |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты 2010 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Отчет Челядинский 20062732.doc | 27,52 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.