Разработка физико-технологических принципов формирования скрытых субмикронных n+-слоев в кремнии, имплантированном протонами : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Покотило, Ю. М.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7165

Title:	Разработка физико-технологических принципов формирования скрытых субмикронных n+-слоев в кремнии, имплантированном протонами : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Покотило, Ю. М.
Authors:	Покотило, Ю. М. Литвинов, В. В. Петух, А. Н. Карась, В. И. Цвырко, В. Г. Гиро, А. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2010
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/7165
Registration number:	20090545
Appears in Collections:	Отчеты 2010

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Отчет=Покотило 20090545.doc		1,04 MB	Microsoft Word	View/Open