Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7165| Заглавие документа: | Разработка физико-технологических принципов формирования скрытых субмикронных n+-слоев в кремнии, имплантированном протонами : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Покотило, Ю. М. |
| Авторы: | Покотило, Ю. М. Литвинов, В. В. Петух, А. Н. Карась, В. И. Цвырко, В. Г. Гиро, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2010 |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7165 |
| Регистрационный номер: | 20090545 |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты 2010 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Отчет=Покотило 20090545.doc | 1,04 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.