Разработка физико-технологических принципов формирования скрытых субмикронных n+-слоев в кремнии, имплантированном протонами : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Покотило, Ю. М.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7165

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Покотило, Ю. М.	-
dc.contributor.author	Литвинов, В. В.	-
dc.contributor.author	Петух, А. Н.	-
dc.contributor.author	Карась, В. И.	-
dc.contributor.author	Цвырко, В. Г.	-
dc.contributor.author	Гиро, А. В.	-
dc.date.accessioned	2012-04-19T06:22:47Z	-
dc.date.available	2012-04-19T06:22:47Z	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.other	20090545	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/7165	-
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Разработка физико-технологических принципов формирования скрытых субмикронных n+-слоев в кремнии, имплантированном протонами : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Покотило, Ю. М.	ru
dc.type	report	ru
Appears in Collections:	Отчеты 2010

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Отчет=Покотило 20090545.doc		1,04 MB	Microsoft Word	View/Open

PlumX