Просмотр "Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета" Темы ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность
Результаты 1 - 2 из 2
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2016 | Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМС | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С. |
| 2016 | Химическая чистота и параметры МОП-структур на кремнии | Васильев, Ю. Б.; Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Садовский, П. К.; Тарасик, М. И.; Филипеня, В. А.; Челядинский, А. Р. |