Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/163353
Title: Химическая чистота и параметры МОП-структур на кремнии
Authors: Васильев, Ю. Б.
Оджаев, В. Б.
Панфиленко, А. К.
Петлицкий, А. Н.
Садовский, П. К.
Тарасик, М. И.
Филипеня, В. А.
Челядинский, А. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 37–40.
Abstract: Целью работы является установление влияния геттерирования неконтролируемых примесей в кремнии на параметры МОП транзисторов.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/163353
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
с.37-40_Васильев.pdf420,58 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.