Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/51069
Title: | Технология производства интегральных микросхем : учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2041/баз. |
Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Issue Date: | 2009 |
Abstract: | Программа курса "Технология производства интегральных микросхем" разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям). Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса - дать необходимые количественные и качественные оценки процессов электропереноса в материалах с учетом особенностей планарной технологии, используемой в электронной промышленности. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/51069 |
Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (архив) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Пилипенко_02-14_УП_Технология производства ИМС.pdf | 169,82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.