Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/51069
Title: Технология производства интегральных микросхем
Other Titles: Учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность)
Authors: Пилипенко, Владимир Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2009
Abstract: Программа курса "Технология производства интегральных микросхем" разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям). Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса - дать необходимые количественные и качественные оценки процессов электропереноса в материалах с учетом особенностей планарной технологии, используемой в электронной промышленности. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/51069
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (архив)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Пилипенко_02-14_УП_Технология производства ИМС.pdf169,82 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.