Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/51069
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пилипенко, Владимир Александрович | - |
dc.date.accessioned | 2013-11-06T14:22:24Z | - |
dc.date.available | 2013-11-06T14:22:24Z | - |
dc.date.issued | 2009 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/51069 | - |
dc.description.abstract | Программа курса "Технология производства интегральных микросхем" разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям). Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса - дать необходимые количественные и качественные оценки процессов электропереноса в материалах с учетом особенностей планарной технологии, используемой в электронной промышленности. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
dc.title | Технология производства интегральных микросхем : учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2041/баз. | ru |
dc.type | syllabus | ru |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (архив) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Пилипенко_02-14_УП_Технология производства ИМС.pdf | 169,82 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.