Технология производства интегральных микросхем : учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2041/баз.

Abstract

Программа курса "Технология производства интегральных микросхем" разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям). Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса - дать необходимые количественные и качественные оценки процессов электропереноса в материалах с учетом особенностей планарной технологии, используемой в электронной промышленности. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик.