Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49684| Title: | Проблемы выращивания наноразмерных пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления |
| Authors: | Лабуда, Антон Антонович Никифоренко, Николай Николаевич Комаров, Фадей Фадеевич Бондаренок, Вячеслав Петрович Бойко, Евгений Борисович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Sep-2005 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2005. - № 3. – С.3-8 |
| Abstract: | The emission spectrum of high-frequency glow discharge plasma in vapor of hexane and nitrogen during thin carbon-nitride films deposition was investigated, and an algorithm for the spectral control of this process was developed. Рассмотрены основные проблемы синтеза пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления. Исследована возможность применения метода эмиссионного спектрального контроля для обеспечения воспроизводимости состава плазмообразующего газа, выработан эффективный двухканальный алгоритм спектрального контроля. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49684 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2005, №3 (сентябрь) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| labuda-nikiforenko-komarov-bondarenok-boiko.pdf | 673,61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.