Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49684Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Лабуда, Антон Антонович | - |
| dc.contributor.author | Никифоренко, Николай Николаевич | - |
| dc.contributor.author | Комаров, Фадей Фадеевич | - |
| dc.contributor.author | Бондаренок, Вячеслав Петрович | - |
| dc.contributor.author | Бойко, Евгений Борисович | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-22T12:08:11Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-22T12:08:11Z | - |
| dc.date.issued | 2005-09 | - |
| dc.identifier.citation | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2005. - № 3. – С.3-8 | ru |
| dc.identifier.issn | 0321-0367 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49684 | - |
| dc.description.abstract | The emission spectrum of high-frequency glow discharge plasma in vapor of hexane and nitrogen during thin carbon-nitride films deposition was investigated, and an algorithm for the spectral control of this process was developed. Рассмотрены основные проблемы синтеза пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления. Исследована возможность применения метода эмиссионного спектрального контроля для обеспечения воспроизводимости состава плазмообразующего газа, выработан эффективный двухканальный алгоритм спектрального контроля. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Проблемы выращивания наноразмерных пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления | ru |
| dc.type | article | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2005, №3 (сентябрь) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| labuda-nikiforenko-komarov-bondarenok-boiko.pdf | 673,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.