Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/49684
Заглавие документа: Проблемы выращивания наноразмерных пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления
Авторы: Лабуда, Антон Антонович
Никифоренко, Николай Николаевич
Комаров, Фадей Фадеевич
Бондаренок, Вячеслав Петрович
Бойко, Евгений Борисович
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: сен-2005
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2005. - № 3. – С.3-8
Аннотация: The emission spectrum of high-frequency glow discharge plasma in vapor of hexane and nitrogen during thin carbon-nitride films deposition was investigated, and an algorithm for the spectral control of this process was developed. Рассмотрены основные проблемы синтеза пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления. Исследована возможность применения метода эмиссионного спектрального контроля для обеспечения воспроизводимости состава плазмообразующего газа, выработан эффективный двухканальный алгоритм спектрального контроля.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/49684
ISSN: 0321-0367
Располагается в коллекциях:2005, №3 (сентябрь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
labuda-nikiforenko-komarov-bondarenok-boiko.pdf673,61 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.