Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49684| Заглавие документа: | Проблемы выращивания наноразмерных пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления |
| Авторы: | Лабуда, Антон Антонович Никифоренко, Николай Николаевич Комаров, Фадей Фадеевич Бондаренок, Вячеслав Петрович Бойко, Евгений Борисович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | сен-2005 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2005. - № 3. – С.3-8 |
| Аннотация: | The emission spectrum of high-frequency glow discharge plasma in vapor of hexane and nitrogen during thin carbon-nitride films deposition was investigated, and an algorithm for the spectral control of this process was developed. Рассмотрены основные проблемы синтеза пленок нитрида углерода в плазме ВЧ-разряда низкого давления. Исследована возможность применения метода эмиссионного спектрального контроля для обеспечения воспроизводимости состава плазмообразующего газа, выработан эффективный двухканальный алгоритм спектрального контроля. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49684 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2005, №3 (сентябрь) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| labuda-nikiforenko-komarov-bondarenok-boiko.pdf | 673,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.