Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48846| Title: | Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВ |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Исследованы прочностные свойства кремния, имплантированных ионами Yb+, B+ и P+ с энергией 60 кэВ. Обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях существенно превышающих проецируемый пробег ионов Rp. Указанный эффект, вероятнее всего, обусловлен диффузией собственных междоузельных атомов из области торможения ионов вглубь пластины |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48846 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич.pdf | 235,72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.