Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48846| Заглавие документа: | Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВ |
| Авторы: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | Исследованы прочностные свойства кремния, имплантированных ионами Yb+, B+ и P+ с энергией 60 кэВ. Обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях существенно превышающих проецируемый пробег ионов Rp. Указанный эффект, вероятнее всего, обусловлен диффузией собственных междоузельных атомов из области торможения ионов вглубь пластины |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48846 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич.pdf | 235,72 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.