Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48846Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-11T10:42:02Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-11T10:42:02Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48846 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы прочностные свойства кремния, имплантированных ионами Yb+, B+ и P+ с энергией 60 кэВ. Обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях существенно превышающих проецируемый пробег ионов Rp. Указанный эффект, вероятнее всего, обусловлен диффузией собственных междоузельных атомов из области торможения ионов вглубь пластины | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич.pdf | 235,72 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.