Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48846
Title: Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВ
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Исследованы прочностные свойства кремния, имплантированных ионами Yb+, B+ и P+ с энергией 60 кэВ. Обнаружено увеличение микротвердости в глубине пластины на расстояниях существенно превышающих проецируемый пробег ионов Rp. Указанный эффект, вероятнее всего, обусловлен диффузией собственных междоузельных атомов из области торможения ионов вглубь пластины
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48846
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Вабищевич.pdf235,72 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.