Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48792| Title: | ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiGe |
| Authors: | Прокопьев, С. Л. Кивеня, С. Ю. Зайков, В. А. Наливайко, О. Ю. Пшеничный, Е. Н. Казючиц, Н. М. Гайдук, П. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Издательский центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 47-50. |
| Abstract: | В настоящей работе представлены результаты исследования электрофизических и структурных свойств поликристаллических слоев SiGe после обработки в водородной плазме. Обнаружена зависимость слоевого сопротивления, подвижности и слоевой концентрации носителей заряда, а также структурных свойств от температуры равновесной термообработки в атмосфере N2. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48792 |
| ISBN: | 978-985-476-885-4 |
| Appears in Collections: | 2010. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| С.Л. Прокопьев, С.Ю. Кивеня, В.А. Зайков, О.Ю. Наливайко, Е.Н. Пшеничный, Н.М. Казючиц, П.И. Гайдук.pdf | 592,24 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.