Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48792
Title: ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiGe
Authors: Прокопьев, С. Л.
Кивеня, С. Ю.
Зайков, В. А.
Наливайко, О. Ю.
Пшеничный, Е. Н.
Казючиц, Н. М.
Гайдук, П. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2010
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 47-50.
Abstract: В настоящей работе представлены результаты исследования электрофизических и структурных свойств поликристаллических слоев SiGe после обработки в водородной плазме. Обнаружена зависимость слоевого сопротивления, подвижности и слоевой концентрации носителей заряда, а также структурных свойств от температуры равновесной термообработки в атмосфере N2.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48792
ISBN: 978-985-476-885-4
Appears in Collections:2010. Материалы и структуры современной электроники



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.