Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Материалы и структуры современной электроники
  6. 2010. Материалы и структуры современной электроники
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48792
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПрокопьев, С. Л.-
dc.contributor.authorКивеня, С. Ю.-
dc.contributor.authorЗайков, В. А.-
dc.contributor.authorНаливайко, О. Ю.-
dc.contributor.authorПшеничный, Е. Н.-
dc.contributor.authorКазючиц, Н. М.-
dc.contributor.authorГайдук, П. И.-
dc.date.accessioned2013-10-10T16:17:57Z-
dc.date.available2013-10-10T16:17:57Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 47-50.ru
dc.identifier.isbn978-985-476-885-4-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/48792-
dc.description.abstractВ настоящей работе представлены результаты исследования электрофизических и структурных свойств поликристаллических слоев SiGe после обработки в водородной плазме. Обнаружена зависимость слоевого сопротивления, подвижности и слоевой концентрации носителей заряда, а также структурных свойств от температуры равновесной термообработки в атмосфере N2.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherИздательский центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiGeru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2010. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
С.Л. Прокопьев, С.Ю. Кивеня, В.А. Зайков, О.Ю. Наливайко, Е.Н. Пшеничный, Н.М. Казючиц, П.И. Гайдук.pdf592,24 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.