Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48788| Title: | ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА ИХ МЕХАНИЧЕСКИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ПАРАМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА |
| Authors: | Лапчук, Т. М. Лапчук, Н. М. Олешкевич, А. Н. Углов, В. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Издательский центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 29-33. |
| Abstract: | Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения (HFCVD) на физические свойства углеродных алмазоподобных пленок. В качестве подложек использовались пластины (100) кремния. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48788 |
| ISBN: | 978-985-476-885-4 |
| Appears in Collections: | 2010. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Т.М. Лапчук, Н.М. Лапчук, А.Н. Олешкевич, В.В. Углов.pdf | 214,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.