Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48788| Заглавие документа: | ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА ИХ МЕХАНИЧЕСКИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ПАРАМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА |
| Авторы: | Лапчук, Т. М. Лапчук, Н. М. Олешкевич, А. Н. Углов, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 29-33. |
| Аннотация: | Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения (HFCVD) на физические свойства углеродных алмазоподобных пленок. В качестве подложек использовались пластины (100) кремния. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48788 |
| ISBN: | 978-985-476-885-4 |
| Располагается в коллекциях: | 2010. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Т.М. Лапчук, Н.М. Лапчук, А.Н. Олешкевич, В.В. Углов.pdf | 214,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.