Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48788Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Лапчук, Т. М. | - |
| dc.contributor.author | Лапчук, Н. М. | - |
| dc.contributor.author | Олешкевич, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Углов, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-10T15:51:50Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-10T15:51:50Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 29-33. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-476-885-4 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48788 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения (HFCVD) на физические свойства углеродных алмазоподобных пленок. В качестве подложек использовались пластины (100) кремния. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА ИХ МЕХАНИЧЕСКИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ПАРАМАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2010. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Т.М. Лапчук, Н.М. Лапчук, А.Н. Олешкевич, В.В. Углов.pdf | 214,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.