Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48434| Заглавие документа: | Формирование ионизованных потоков при магнетронном распылении под воздействием коаксиального магнитного поля |
| Авторы: | Никитин, М. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | С использованием компьютерного моделирования рассмотрено влияние внешнего магнитного поля на изменение поля магнетрона, определяющего направленность распространяющихся ионизованных потоков. Исследовано влияние расположения (верхняя, нижняя) электромагнитных катушек и интенсивности поля на распределение потока силовых магнитных линий в пространстве мишень/подложка. Соответствие расчетных и экспериментальных данных показывает целесообразность моделирования при оптимизации условий напыления. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48434 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Никитин.pdf | 355,36 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.