Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48434| Title: | Формирование ионизованных потоков при магнетронном распылении под воздействием коаксиального магнитного поля |
| Authors: | Никитин, М. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | С использованием компьютерного моделирования рассмотрено влияние внешнего магнитного поля на изменение поля магнетрона, определяющего направленность распространяющихся ионизованных потоков. Исследовано влияние расположения (верхняя, нижняя) электромагнитных катушек и интенсивности поля на распределение потока силовых магнитных линий в пространстве мишень/подложка. Соответствие расчетных и экспериментальных данных показывает целесообразность моделирования при оптимизации условий напыления. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48434 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Никитин.pdf | 355,36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.