Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48434Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Никитин, М. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-08T07:53:40Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-08T07:53:40Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48434 | - |
| dc.description.abstract | С использованием компьютерного моделирования рассмотрено влияние внешнего магнитного поля на изменение поля магнетрона, определяющего направленность распространяющихся ионизованных потоков. Исследовано влияние расположения (верхняя, нижняя) электромагнитных катушек и интенсивности поля на распределение потока силовых магнитных линий в пространстве мишень/подложка. Соответствие расчетных и экспериментальных данных показывает целесообразность моделирования при оптимизации условий напыления. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Формирование ионизованных потоков при магнетронном распылении под воздействием коаксиального магнитного поля | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Никитин.pdf | 355,36 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.