Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/36343| Title: | Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии |
| Authors: | Пилипенко, В. А. Чижик, С. А. Понарядов, В. В. Петлицкая, Т. В. Кузнецова, Т. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Jan-2012 |
| Publisher: | БГУ |
| Citation: | Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - №1. - С. 17-20. |
| Abstract: | The efficiency of the atomic-force microscopy method is demonstrated by metrological measurements of the mass-produced IC layout layers. Indisputable advantages of this method over optical microscopy are indicated, its irreplaceability in measurements of the microrelief height is emphasized. = Показана эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений топологических слоев серийно выпускаемых ИМС, его неоспоримое преимущество перед оптической микроскопией и незаменимость в измерении высоты микрорельефа. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/36343 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2012, №1 (январь) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.